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[issued:2012.08.23]

TASSユニット

─薄型、省スペース対応の製造装置用免震ユニット─

既に設置・稼動している製造装置の下に挿入することで、免震化を実現します。
アウトガスを抑え、クリーンルームにも適用できる小変位・省スペース型の2次元免震装置です。


1. 

TASSユニットの概要


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TASSユニット:薄型、省スペース対応の免震ユニット
 

TASSユニットは、既に設置・稼動している製造装置を免震化できる、小変位・省スペース型の2次元免震装置です。

TASSユニット

機器免震では装置の周囲に水平クリアランスが必要ですが、従業者の安全確保やクリーンルームスペースの有効利用のため、その低減が課題となっていました。TASSユニットは、熱処理成膜装置を免震化することで装置の被害を軽減。重要な資産である装置の被害を軽減すると共に、災害時に早期の操業再開(RTOの実現)を実現し、事業継続計画(BCP)をサポートします。
TASSユニットは
地震時の変位を最小限に抑えながら高い免震性能を発揮します。
使用材料の選定により対アウトガス性能を確保します。
既存施設、既設装置への設置に配慮した薄型ユニットです。
隣接して設置される製造装置にも連結設置で対応できます。
分割機構により少ないスペースで現地組立が可能です。

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