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[issued:2005.09.01]

MiC免震

MiC：微振動制御免震構法

微振動対策が重要な半導体工場等、電子デバイス施設の地震対策に


  • MiC免震
  • MiC免震システムの特性と性能
2. 

MiC免震システムの特性と性能


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MiC免震システムの特性

グラフ

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MiC免震システムの性能

微振動制御性能 免震性能
変位 ：0.5μm以下
加速度 ：0.5gal以下
最先端の半導体工場の最も厳しい微振動条件を満足できるレベル
地震動 ：500gal程度
  （震度6強程度）
▼
生産床で100gal （震度3?4）程度
地震による生産施設への影響を最小限にする
1μm＝1.0×10-6m
1gal＝1cm/s2

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